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    离子风机的校准方法及不确定度

      发布时间:2018-03-17 03:49

      工业计量 测量不确定度 ·33·DOI:10. 13228/j. boyuan. issn1002 -1183. 2015. 0155离子风机的校准方法及不确定度分析束义牛,郝丽娜(苏州赛宝校准技术服务有限公司,江苏 苏州 215168)摘要:目前国内外均尚无与离子风机有关的检定规程、校准规范及相关建议,依据 ANSI/ESD STM3. 1—2000、ESD SP3. 3—2000、IEC61340—5—1 等标准所规定的方法并根据离子风机的工作原理和技术指标,文章提出离子风机的一种校准方法,并分析其测量不确定度,本方法已在实验室多次验证,测量所得数据符合离子风机的技术指标要求。关键词:离子风机;校准方法;测量不确定度文献标志码:B ...

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